電子特氣管道高純氣體管路的設計要點
2022-11-25 10:33:13
特種氣體的供應方式截至目前為止，幾乎皆用鋼瓶的方式進行。一般常用的為高壓鋼瓶，依其填充的氣體特性有分為氣態(tài)和液態(tài)兩種。一般氣體依液態(tài)儲存于鋼瓶內(nèi)，瓶內(nèi)壓力較高，所以最佳方式是選用吸附式氣態(tài)鋼瓶，以氣體分子與吸附劑間的范德瓦力將氣體吸附于吸附劑孔隙中，其優(yōu)點為供氣壓力低于一個大氣壓，無任何泄漏的危險，且供氣量為普通高壓鋼瓶的10倍，低蒸汽壓的氣體以液態(tài)儲存于鋼瓶內(nèi);針對易燃易爆，有毒性腐蝕性的氣體，常將鋼瓶至于特氣柜中，再通過管路將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥箱，經(jīng)過一系列的控制而后進入用氣點;一般惰性氣體以開放式的氣瓶架和閥盤供應，下面由深圳普萊斯特廠家分享電子特氣管道高純氣體管路的設計要點：
1.對于不同特性的氣體，要規(guī)劃獨立的供應區(qū)域，一般分為三個區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。
2.管路設計需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風險也越高，通常較合理的設計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設計方面，則需要考慮使用點的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關，后者使用點的管徑一般為1/4”～3/8”。
3.根據(jù)用氣設備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長;宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。
4.管路中應減少不流動氣體的“死空間”，不應設有盲管，在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。
5.對高純氣體純度要求不同的用氣設備，宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設備鄰近處設末端氣體提純裝置。
6.為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設置必要的連續(xù)檢測儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應設置定期取樣用的檢測采樣口，以便按規(guī)定時間進行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。
7.在亞微米級的集成電路生產(chǎn)中，要求供應10-9級的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量(包括塵粒)控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設備前設置末端純化裝置，或末端高精度氣體過濾器。